新聞中心
導航欄目
人才招聘
新聞中心

聯系我們
明暗場金相顯微鏡在晶圓分析中的運用
文章來源:未知 ?????發布者:微特光電

  明暗場金相顯微鏡在晶圓分析中的運用

   近年來,國家對科技研發的投入正逐步加大,對半導體行業越來越重視,已經將集成電路作為重點發展的戰略產業之一,電子行業正迅速壯大。作為全球重要的電子制造基地,中國的電子應用市場巨大,對芯片、晶圓的需求量也比較大。


    眾所周知,晶圓是制造芯片的原材料,晶圓便是硅元素加以純化(99.999%),接著是將這些純硅制成硅晶棒,成為制造集成電路的石英半導體的材料,經過照相制版,研磨,拋光,切片等程序,將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圓。隨著半導體制造技術尺寸的不斷縮小,制造工藝也越來越復雜,晶圓的制造和封裝是個涉及幾百步工藝的相當長而復雜的過程,這些步驟絕不可能每次都完美進行,污染和材料的變化將結合到工藝中會造成晶圓的缺陷損失。在晶圓的制造工藝中,缺陷已成為制約良率提升的關鍵,維持及提高工藝和產品的良品率對半導體工業至關重要。
因此先進的分析技術可有效的偵測其表面缺陷,并及時將分析檢測結果反饋給優化單元就變得十分重要。通常半導體制造過程中,顯微鏡應用比較多。在前段制程制的晶圓處理制程中,蝕刻后就需要用到光學顯微鏡。在后段的構裝過程中,晶圓研磨、晶圓上片、晶圓切割、焊線、印字、檢驗等都需要用到顯微鏡,生產線也將根據檢測需求選擇不同的顯微鏡。
晶圓要求顯微鏡可以帶來更加配合的功能,硬件與軟件的結合,智能化,人性化。因為晶圓生產迅速且數量多,因此通常使用自動化系統對其進行檢測。但是,這些系統的光學分辨率可能不足,從而使系統難以識別小的缺陷,因此,使用顯微鏡進行目測是首選方法。為簡化檢測過程,許多制造商已從使用光學顯微鏡轉換為使用數字式顯微鏡。雖然這可以在一定程度上簡化過程,但大多數數字式顯微鏡仍要求用戶每次更換觀察方法時更換鏡頭。而且,更換鏡頭時,觀察位置很容易改變,從而迫使您花時間重新對焦。不僅如此,載物平臺的大小會限制對晶圓的觀察。工作距離的高低、操作空間的大小以及可調性會直接影響晶圓的良品率,因為工作距離低會觸碰污染甚至損傷晶圓。明場觀察、暗場觀察、偏光觀察功能的優劣,抗震功能的優劣都影響著晶圓缺陷的檢測。

微特視界公司的明暗場顯微鏡在晶圓分析中具有明顯優勢。因為其顯微鏡的特別之處在于大移動工作臺8寸,甚至10寸,工作距離高,不容易碰觸到晶圓,從而不會損傷到它;操作空間可調,在研發的時候有可以有接觸式的檢查分析,鏡頭下方可便人工操作或其它介入操作;且具有良好的科學抗震功能。

              
其可準確反映表征構成材料的像和組織組成物、晶粒(亦包括可能存在的亞晶)、非金屬夾雜物乃至某些晶體缺陷(例如位錯)的數量、形貌、大小、分布、取向、空間排布狀態等。符合人機工程學要求的理想設計,使操作更方便舒適,空間更廣闊。
科技創新是大勢所趨,而提高現代化的產品品質的創新,就須從這微觀檢查入手,顯微技術交流微信號:weetorpt .

微特視界科技(深圳)有限公司
郵箱:winnergd@126.com
地址:深圳市龍華新區新田社區觀平路新聯大廈712-714
電話:0755-82781341
傳真:0755-23737887
手機:13424370129
粵ICP備16098628號
18禁美女裸体无遮挡网站|亚洲乱码中文字幕明星换脸|亚洲欧美国产制服图片区|最新亚洲色拍偷r拍最新|99re这里只有精品15|337p欧洲亚洲色噜噜|国自产视频在线观看400部 老司机ae视频永久免费-女人色毛片女人色毛片18-亚洲高清一二区二区三区-A 级中国国产一级毛卡片-影音先锋ady69资源站-2019最新精品不卡在线视频-午夜福利十八禁免费观看 午夜福利视频合集100集,亚洲欧美小说,图片区旧网址,网友自拍最新上传视频网,国产亚洲曝欧美手机在线,国产欧美日韩线路一二三四,511yc影院午夜精品,高清国语自产拍在线观看